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► PERFILÓMETRO ÓPTICO DE MEDICIÓN 3D - TopMap Micro.View
Descripción
Este potente instrumento de medición 3D sin contacto, está diseñado para medir y caracterizar las siguientes mediciones:
alturas de escalón, forma, rugosidad 2D y 3D además de textura superficial.
Con el uso de diferentes lentes de microscopio interferométrico, el campo de visión y la resolución lateral se pueden modificar según las necesidades de medición.
Con la mesa de posicionamiento XY motorizada opcional de 75 mm x 75 mm (A-PST-075S) y la opción de "coser" mediciones vía software, se puede aumentar el campo de visión XY de cada lente.
La Tecnología de escaneo continuo proporciona un rango vertical Z motorizado de hasta 100 mm (dependiendo de la distancia de trabajo de cada lente de aumento). Esta unidad Z motorizada proporciona flexibilidad de medición completa y amplias capacidades de automatización.
El algoritmo de evaluación opcional "ECT": tecnología de compensación ambiental (opción de software de control de vibraciones TMS-S-QCVF) garantiza el mejor rendimiento de medición incluso en condiciones ambientales adversas, como en entornos de fabricación.
Datos Técnicos
- Rango vertical: 100 mm
- Repetibilidad de RMS: 0,07 nanómetros
- Repetibilidad de altura de paso (75um): 0,05 %
- Repetibilidad de altura de paso (20 nm): 0,0003 %
- Resolución lateral (óptica): 0,4 um a 4,3 um
- Campo de visión: (dependiente del objetivo): 70um x 50um a 3,1 mm x 2,3 mm
- "Stitching" hasta 75 mm
- Estudios de acabado superficial/rugosidad, tribología/desgaste, corrosión
- Objetivos: 2.5X, 4X, 5X, 10X, 20X, 50X, 100X, 111X y 10X (LWD)